講義では、まず基本的な光学特性である干渉、偏光、回折、屈折、反射について、解説いただきました。光学素子、ならびに光学系を組み立てて配置・調整に用いるミラーマウント、ステージの実物を見ながら、その動作機構、製作方法等について、グループ討議を講義中に交えながら行なっていただきました。

実験実習では、微細な表面形状の変化を計測できるレーザー干渉計の組み立てを行い、講義と連携して光学素子のマウント方法や、光学マウントの特性によってどのように干渉信号が変化するのか計測を行いました。光学素子表面形状や、光学マウント方式によって引き起こされるひずみなどについて、計測結果をスケッチし、結果について議論しました。また、レーザー加工機を用いてシリコン基盤上にMEMS構造を作成しました。与えられた時間内に、グループ内で加工条件を検討して、実際にシリコン基板上に加工を行い、時間内に仕上がった最も良い加工結果について、またそれに至った過程などについて議論・評価を行いました。

本実習では、「先端光量子アライアンス」ならびに「東京大学工学系研究科附属光量子科学研究センター」にご支援いただき、博士課程学生の三浦瞬さん（東京大学大学院理学系研究科）にティーチングアシスタントとしてお手伝いいただきました。

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