講義では、光のスペクトルと様々な光源についてご紹介いただきました。また、真空紫外領域のエキシマランプの動作原理と真空紫外光による結合解離を応用した表面洗浄、表面改質といった、液晶ディスプレイ製造などに欠かせない産業応用について解説いただきました。つぎに、紫外ランプ特性と動作原理、半導体露光装置の照明光や殺菌灯としての応用、ならびに水銀圧力とスペクトルの関係からどのようにして高圧水銀灯の広帯域スペクトルが実現されているのかについて解説いただきました。
実験実習では、講義と連携して2つのテーマを実習しました。エキシマランプによるオゾン発生とそのスペクトル計測による定量分析を行いました。また、紫外水銀ランプの温度に対して、どのようにスペクトル形状の計測を行い、ランプ中の水銀気体のスペクトル幅と圧力依存性ついて解析を行い、ランプの動作原理について議論しました。最後に、エキシマランプを照射してガラス表面が洗浄される様子について、実際のランプを使ってご紹介いただきました。

本実験実習では、「先端光量子アライアンス」ならびに「東京大学工学系研究科附属光量子科学研究センター」にご支援いただき、博士課程学生の柳 済允さん、福田 一貴さん（東京大学大学院理学系研究科）にティーチングアシスタントとしてお手伝いいただきました。

写真はこちらをご覧下さい。