講義では、8Kテレビ、有機ELデバイスなど、最近の高精細液晶フラットパネルや有機ELディスプレイについてご紹介頂いた後、液晶露光装置によるディスプレイの製造工程と最近用いられているマイクロレンズアレイを用いた露光について解説頂きました。また、Digital mirror device (DMD)を用いた光学系の特徴を、DMDを用いたプロジェクターを例にご説明いただき、DMDの応用として液晶露光工程の検査過程における共焦点顕微鏡を用いた検査装置と画像処理による高速な３次元形状欠陥検出について解説いただきました。最後に相関係数を用いた画像相関の評価方法と、実際の検査工程における相関係数を用いた欠陥検出処理についてご紹介いただきました。

実験実習では、講義と連携してDMD素子を用いたプロジェクタと表面形状検査装置について実習を行いました。まず、DMDプロジェクタの構造について学んだ上で、DMDの動作とステッピングモータを用いたカラーフィルタホイールの動作について、コンピュータで各自制御方法を検討し、カラー画像を表示させる最適なステッピングモータ制御パラメータの検討を行い、高速なアニメーション表示方法について考察を行いました。また、DMDを用いた共焦点顕微鏡を用いた表面形状計測装置によって、フィルター構造の３次元形状を取得し、画像処理と組み合わせることによって微小な構造欠陥の評価方法を体験しました。

本実習では、「先端光量子アライアンス」ならびに「東京大学工学系研究科附属光量子科学研究センター」にご支援いただき、博士課程学生の増山雄太さん（工学系研究科）にティーチングアシスタントとしてお手伝いいただきました。

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