講義では、まず基本的な光学特性である干渉、偏光、回折、屈折、反射について、解説いただきました。光学素子、ならびに光学系を組み立てて配置・調整に用いるミラーマウント、ステージの実物を見ながら、その動作機構、製作方法等について、グループ討議を講義中に交えながら行なっていただきました。

実験実習では、レーザーの波長より小さな表面形状の変化を計測できる干渉計の組み立てを行い、講義と連携して光学素子のマウント方法や、光学マウントの特性によってどのように干渉信号が変化するのか計測を行い、結果について議論しました。また、レーザー加工機を用いてシリコン基盤上にMEMS構造を作成しました。グループで議論して条件を検討し、実際にシリコン基板上に加工を行い、その仕上がり具合について議論・評価を行いました。

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