講義では、液晶ディスプレイの製造工程についてご紹介いただき、その中で応用されている光学システムを用いた露光、検査のための装置について解説いただきました。光学システムを用いた半導体検査において、検査を高速で行いマスクなどの欠陥を検出ための、Digital mirror device(DMD)、ならびに画像処理を用いた検査装置についてご紹介いただきました。また画像処理の考え方について解説いただきました。

実習では、講義と連携してDMDの動作を理解するため、DMD素子を用いた手製の液晶プロジェクタを用いて、DMD動作やカラーフィルターによる色変換のタイミングを、与えられたパラメタをもとに各自検討したうえでコンピュータ制御を行い、実際にカラーの静止画、アニメーションなどが映し出される様子について観察を行いました。また、DMDを使用した液晶ディスプレイ用カラーフィルターの欠陥観察を非接触３次元表面形状測定顕微鏡を用いて行い、画像処理によって欠陥の相関係数を検討した上で、観察の焦点面の高さが最適になる条件について検討しました。

写真はこちらをご覧下さい。